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文章出處：明通資訊 網(wǎng)站編輯： 明通集團 閱讀量： 發(fā)表時(shí)間：2024-05-21 15:16:44
導語(yǔ)：干式螺旋真空泵有著(zhù)壓縮無(wú)油潤滑、高效的抽氣速度和抽氣效率及低頻率的震動(dòng)和噪音水平這三大特點(diǎn)，使得干式螺旋真空泵在半導體行業(yè)有廣泛的應用。但還主要體現在以下這幾個(gè)方面:
1. 半導體材料制備：
干式螺桿真空泵在半導體材料的真空干燥、燒結、氧化等過(guò)程中起到關(guān)鍵作用，確保半導體材料的高純度和優(yōu)良性能。
2. 薄膜沉積：
在半導體制造過(guò)程中，干式螺桿真空泵用于真空蒸鍍、濺射等薄膜沉積工藝，以獲得所需的半導體薄膜結構。
3. 刻蝕與去膠：
干式螺桿真空泵在半導體工藝中用于刻蝕和去膠，以實(shí)現半導體器件的微細化和精細化。
4. 封裝與測試：
在半導體封裝和測試過(guò)程中，干式螺桿真空泵可用于真空封裝、真空包裝等，確保半導體產(chǎn)品的可靠性和穩定性。
3. 廢水處理：
干式螺桿真空泵在半導體行業(yè)的廢水處理系統中，可用于脫水和濃縮廢水中的有害物質(zhì)，減輕環(huán)境污染。
4. 空氣凈化：
半導體生產(chǎn)環(huán)境中，干式螺桿真空泵可用于空氣凈化，去除有害氣體和顆粒物，確保生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度。
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